MAK 649E - MikroElektro Mekanik Sensörler

Dersin Amaçları

1. MEMS üretim teknolojisin temellerini vermek
2. Mikro ölçekte malzeme, sistem ve mekanizma farklışlaşmalarını vermek
3. MEMS tasarımı ve üretimi için gerekli yaklaşım ve metodolojiyi vermek

Dersin Tanımı

MEMS üretim teknikleri. Yüzey mikro işleme. Gövde mikroişleme. Polimer mikroişleme. Doplama, PVD ve CVD teknikleri. MEMS teknolojinde kullanılan malzemeler. Ölçeklendirme prensipleri. Üretim örnekleri. MEMS sensörlerinin güvenilirliği. Çoklu-wafer üretim teknolojisi ve üretim alternatifleri. MEMS paketleme.