Dersin Bilgileri

Dersin Adı	Türkçe	MikroElektro Mekanik Sensörler
	İngilizce	Micro Electro-Mech. Sensors
Dersin Kodu	MAK 649E	Kredi	Ders (saat/hafta)	Uygulama (saat/hafta)	Labratuvar (saat/hafta)
Dönem	-	3	3	-	-
Dersin Dili		İngilizce
Dersin Koordinatörü		Levent Trabzon
Dersin Amaçları		1. MEMS üretim teknolojisin temellerini vermek 2. Mikro ölçekte malzeme, sistem ve mekanizma farklışlaşmalarını vermek 3. MEMS tasarımı ve üretimi için gerekli yaklaşım ve metodolojiyi vermek
Dersin Tanımı		MEMS üretim teknikleri. Yüzey mikro işleme. Gövde mikroişleme. Polimer mikroişleme. Doplama, PVD ve CVD teknikleri. MEMS teknolojinde kullanılan malzemeler. Ölçeklendirme prensipleri. Üretim örnekleri. MEMS sensörlerinin güvenilirliği. Çoklu-wafer üretim teknolojisi ve üretim alternatifleri. MEMS paketleme.
Dersin Çıktıları		1. MEMS üretim teknikleri öğrenecek 2. MEMS tasarım prensiplerini öğrenecek 3. Mikrosensörlerin üretiminde malzeme ve üretim yaklaşımını öğrenecek 4. MEMS sensörünün tasarım-üretim-paketleme süreçini öğrenecek
Önkoşullar
Gereken Olanaklar
Diğer
Ders Kitabı		MEMS and microsystems : design and manufacture, Tai-Ran Hsu, MacGraw Hill, 2001
Diğer Referanslar		1.The MEMS handbook, edited by Mohamed Gad-el-Hak, CRC Press, 2001 2. Microsystem Design, Stephen D. Senturia, Springer, 2000