EHB 427E - Mikroelektronik Teknolojisi

Dersin Amaçları

Öğrenciye
1.Mikroelektronik üretiminde kullanılan malzemelerin özelliklerini,
2.CMOS, bipolar ve SiGe üretimindeki temel süreç adımlarını,
3.Her bir süreç adımında elemanların elektriksel özelliklerinin nasıl etkilendiğini öğretmek
4.Mikroelektronikte ölçeklemeyi ve etkilerini öğretmektir.

Dersin Tanımı

Mikroelektronik teknolojisinin tarihçesi. Planer teknoloji. Mikro-litografi. İnce filmler; buharlaştırma,
tozutma ve kimyasal buhardan yoğuşturma teknikleri. Silisyumun ısıl oksitlenmesi. Katkılama yöntemelri;
difüzyon, iyon ekme ve epitaksi. Süreç içi ölçme ve değerlendirme teknikleri. Süreç simülasyonu:
SUPREM. Süreç tasarımı; jonksiyon izolasyonlu bipolar tümdevre ve CMOS tümdevre üretim süreçleri.
Kılıflama. Sağlam ürün oranı analizi.