Dersin Bilgileri

Dersin Adı	Türkçe	Mikroelektronik Teknolojisi
	İngilizce	Microelectronics Technology
Dersin Kodu	EHB 427E	Kredi	Ders (saat/hafta)	Uygulama (saat/hafta)	Labratuvar (saat/hafta)
Dönem	8	3	-	-	-
Dersin Dili		İngilizce
Dersin Koordinatörü		Mustafa Berke Yelten
Dersin Amaçları		Öğrenciye 1.Mikroelektronik üretiminde kullanılan malzemelerin özelliklerini, 2.CMOS, bipolar ve SiGe üretimindeki temel süreç adımlarını, 3.Her bir süreç adımında elemanların elektriksel özelliklerinin nasıl etkilendiğini öğretmek 4.Mikroelektronikte ölçeklemeyi ve etkilerini öğretmektir.
Dersin Tanımı		Mikroelektronik teknolojisinin tarihçesi. Planer teknoloji. Mikro-litografi. İnce filmler; buharlaştırma, tozutma ve kimyasal buhardan yoğuşturma teknikleri. Silisyumun ısıl oksitlenmesi. Katkılama yöntemelri; difüzyon, iyon ekme ve epitaksi. Süreç içi ölçme ve değerlendirme teknikleri. Süreç simülasyonu: SUPREM. Süreç tasarımı; jonksiyon izolasyonlu bipolar tümdevre ve CMOS tümdevre üretim süreçleri. Kılıflama. Sağlam ürün oranı analizi.
Dersin Çıktıları
Önkoşullar
Gereken Olanaklar
Diğer
Ders Kitabı
Diğer Referanslar