Hoşgeldiniz, Misafir . Oturum Aç . English
Neredeyim: Ninova / Dersler / Fen Bilimleri Enstitüsü / MAK 649E - MikroElektro Mekanik Sensörler
 

MAK 649E - MikroElektro Mekanik Sensörler

Dersin Amaçları

1. MEMS üretim teknolojisin temellerini vermek
2. Mikro ölçekte malzeme, sistem ve mekanizma farklışlaşmalarını vermek
3. MEMS tasarımı ve üretimi için gerekli yaklaşım ve metodolojiyi vermek

Dersin Tanımı

MEMS üretim teknikleri. Yüzey mikro işleme. Gövde mikroişleme. Polimer mikroişleme. Doplama, PVD ve CVD teknikleri. MEMS teknolojinde kullanılan malzemeler. Ölçeklendirme prensipleri. Üretim örnekleri. MEMS sensörlerinin güvenilirliği. Çoklu-wafer üretim teknolojisi ve üretim alternatifleri. MEMS paketleme.

Koordinatörleri
Levent Trabzon
Dersin Dili
İngilizce
 
 
Dersler . Yardım . Hakkında
Ninova, İTÜ Bilgi İşlem Daire Başkanlığı ürünüdür. © 2019