Hoşgeldiniz, Misafir . Oturum Aç . English
Neredeyim: Ninova / Dersler / Fen Bilimleri Enstitüsü / MAK 649E / Dersin Bilgileri
 

Dersin Bilgileri

Dersin Adı
Türkçe MikroElektro Mekanik Sensörler
İngilizce Micro Electro-Mech. Sensors
Dersin Kodu
MAK 649E Kredi Ders
(saat/hafta)
Uygulama
(saat/hafta)
Labratuvar
(saat/hafta)
Dönem -
3 3 - -
Dersin Dili İngilizce
Dersin Koordinatörü Levent Trabzon
Dersin Amaçları 1. MEMS üretim teknolojisin temellerini vermek
2. Mikro ölçekte malzeme, sistem ve mekanizma farklışlaşmalarını vermek
3. MEMS tasarımı ve üretimi için gerekli yaklaşım ve metodolojiyi vermek
Dersin Tanımı MEMS üretim teknikleri. Yüzey mikro işleme. Gövde mikroişleme. Polimer mikroişleme. Doplama, PVD ve CVD teknikleri. MEMS teknolojinde kullanılan malzemeler. Ölçeklendirme prensipleri. Üretim örnekleri. MEMS sensörlerinin güvenilirliği. Çoklu-wafer üretim teknolojisi ve üretim alternatifleri. MEMS paketleme.
Dersin Çıktıları 1. MEMS üretim teknikleri öğrenecek
2. MEMS tasarım prensiplerini öğrenecek
3. Mikrosensörlerin üretiminde malzeme ve üretim yaklaşımını öğrenecek
4. MEMS sensörünün tasarım-üretim-paketleme süreçini öğrenecek
Önkoşullar
Gereken Olanaklar
Diğer
Ders Kitabı MEMS and microsystems : design and manufacture, Tai-Ran Hsu, MacGraw Hill, 2001
Diğer Referanslar 1.The MEMS handbook, edited by Mohamed Gad-el-Hak, CRC Press, 2001 2. Microsystem Design, Stephen D. Senturia, Springer, 2000
 
 
Dersler . Yardım . Hakkında
Ninova, İTÜ Bilgi İşlem Daire Başkanlığı ürünüdür. © 2019